• IXL (IXL20) 無油式真空幫浦

    iXL 系列的乾式泵浦可 全面因應平面顯示器 (FPD)、 半導體及太陽能製造市場領域面臨的各項抽氣需求。

    這些性能領先的 泵浦,在設計上可大幅提升基質流通量,同時也大幅減少耗能、 體積及重量。此外,在檢修之間無須維護 。


        

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  • 小型 iXL 乾式泵浦的半導體與太陽能應用
    適用於重度應用的大型 iXL 乾式泵浦
    適用於 Applied Materials 公司製程平台的 IPUP
  • 關於我們

    F.D.Edwards 於 1939 年開始製造真空設備時,便致力於科技創新,而現今的我們也仍秉持著這個核心理念。

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